半導體工業是真空泵最大應用領域，也是當前主要的增長動力。ISVT數據顯示，2019 年全球真空設備的市場規模約 350 億元，其中半導體用真空設備約 135 億元，占比約 38%。ICInsights預計，到2025年全球半導體真空泵的設備與服務需求達到217億元。

　　真空泵廣泛應用于半導體制造的多個工藝環節，包括半導體大硅片生產環節的單晶爐，在晶圓制造環節的光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機等，以及在封測環節的模塑設備領域等。

　　真空系統對半導體工藝環節品質影響很大，直接關系到芯片的性能和良率。只有在高品質的真空環境下，才能有效地控制加工和測試中的氧化、污染等問題，從而保證半導體器件的質量和可靠性。

　　近年來，半導體工業對真空泵要求越來越高，需要將制造過程控制在更小的尺寸，要實現這一點，半導體工藝就必須在極度受控的真空環境下以更高精度和均勻性執行更多的半導體制造過程步驟，以提升產品品質和生產效率，這就對真空泵的真空潔凈度和穩定性提出更嚴苛的要求。

　　此外，由于半導體制造每條生產線不同，工藝需求也不同，要求真空泵具備高度的自動化和智能化，可以根據工藝要求自動調節真空度和泵速，提高生產效率和穩定性。

　　而傳統真空泵一般是使用水或油進行真空階段的密封或潤滑，可能會產生不同類型的污染和氣體浸染，無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，在一定程度上會影響真空系統的質量。盛源推出的新一代無油真空泵，雙倍高真空、無油低環保、低熱高效，進一步優化半導體真空工藝，不僅消除半導體工藝中的油污染，而且運行成本低，因此備受客戶青睞。

　　1.高真空，滿足半導體工藝需求

　　盛源無油真空泵采用高精密高可靠真空泵頭，含高精密過濾器，深度過濾雜質，真空更潔凈，二級真空最高可達1000pa，同時抽氣快、狠和穩，滿足半導體各工藝環節對真空環境高品質、高穩定性的嚴苛要求。

　　2.無油環保，保護工件免受污染

　　采用進口皮碗原料，氣缸內壁特殊處理，形成自潤滑，因此真空泵無需加油潤滑即可運行，不僅環保，而且確保半導體制造工藝的產品品質。

　　3.免于維護，配件可靠經久耐用

　　盛源無油自潤滑技術，讓設備免于維護，而且在長久運行真空度有所下降的情況下，也僅需更換易損件，更換一下，至少可以運行8000H以上。此外，核心配件采用進口品牌，確保產品壽命更長，降低客戶使用成本。

　　4.低熱高效、低噪靜音，保障安全

　　半導體在真空泵的應用中，有害氣體比較多，泵腔內溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發生危險。盛源新一代無油真空泵采用純銅電機，專業電機設計，滿足24H連續運行，溫低至50K，電機能效比高，極低發熱量，避免危險事件發生。

　　此外采用四級低轉速電機，四缸對稱設計，振動小，噪音低到60dB(A)，滿足半導體的特殊工藝要求。

　　5.高度自動化，靈活調節真空度

　　在半導體制造領域，由于每條生產線工況都不相同，客戶需要定制化產品和解決方案，盛源新一代無油環保真空泵配置微電腦真空表，可靈活調節真空度，精確顯示真實參數，使用方便快捷，能滿足不同半導體不同產線工藝需求。

　　盛源無油真空泵不僅適用于半導體制造領域，而且還廣泛應用于機器人自動化行業、包裝機、醫療行業、航天實驗室、精密儀器、電子印刷等領域。盛源是國內最早從國外引進無油真空泵并自主改進研發制造的企業，始終重視產品質量和性能升級，在無油真空泵領域具有25年的研發制造經驗，具有專業化的研發實驗室，掌握無油真空泵關鍵技術專利，把“為客戶有價值的產品”作為經營理念，憑借高質量高效率高穩定性的產品優勢，已獲得海內外500強企業的青睞。