真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)容器進(jìn)行抽氣，以獲得和維持低于大氣壓的負(fù)壓狀態(tài)的設(shè)備。

       下面是常見(jiàn)的4種真空泵的工作原理

1. 水環(huán)式真空泵：水環(huán)式真空泵的葉片偏心地裝在圓柱形泵殼內(nèi)，泵內(nèi)注入一定量的水。葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，將水甩至泵殼形成一個(gè)水環(huán)，環(huán)的內(nèi)表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半輪轂與水環(huán)間的進(jìn)氣空間逐漸擴(kuò)大，形成真空，使氣體經(jīng)進(jìn)氣管進(jìn)入泵內(nèi)進(jìn)氣空間。隨后氣體進(jìn)入左半部，由于轂環(huán)之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強(qiáng)，于是氣體經(jīng)排氣空間及排氣管被排至泵外。
2. 旋片式真空泵：旋片式真空泵（簡(jiǎn)稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（pa），屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。旋片泵的工作原理是電機(jī)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過(guò)機(jī)械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運(yùn)動(dòng)，從而壓縮、拉伸泵腔內(nèi)的空氣形成真空，在抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體吸入泵腔，再?gòu)呐艢饪谂懦觥?/span>

3. 隔膜真空泵：隔膜式泵利用特殊設(shè)計(jì)加工的柔性隔膜取代活塞，在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)作用下實(shí)現(xiàn)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而壓縮、拉伸泵腔內(nèi)的空氣形成真空，在抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體吸入泵腔，再?gòu)呐艢饪谂懦觥?/span>

      無(wú)油真空泵的工作原理主要是以下2種：

（1）通過(guò)容積變化實(shí)現(xiàn)抽氣過(guò)程。無(wú)油真空泵的泵體內(nèi)有一個(gè)可以活動(dòng)的機(jī)械部件，工作時(shí)，這個(gè)部件會(huì)不斷改變泵的容積。當(dāng)容積變大時(shí)，泵體內(nèi)的氣體被吸入；當(dāng)容積變小時(shí)，吸入的氣體被壓縮并從出口處排出。

（2）通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的葉片或旋片實(shí)現(xiàn)抽氣過(guò)程。無(wú)油真空泵的葉片或旋片高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，會(huì)帶動(dòng)泵內(nèi)的氣體一起旋轉(zhuǎn)，在離心力的作用下，將氣體從泵的入口處甩到出口處，從而實(shí)現(xiàn)氣體的抽取與排出。

      真空泵還有其他不同的種類，如往復(fù)式真空泵、羅茨真空泵、油擴(kuò)散泵等，每種類型的工作原理和特點(diǎn)都不同。